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洁净室静压差检查要求与标准

日期:2023-04-07 14:42:00发布人:本站浏览数:1062

洁净室静压差的检测是为了防止室内外气流的相互作用。洁净室的静压差可以是正压,也可以是负压。

静压差检测要求洁净室洁净区的所有门都关闭,从洁净度依次进行,直到检测到室外房间。静压测量管口可设置在无气流影响的洁净室中,管口表面可保持与气流平行。最好将测量数据精确记录到1.0Pa

根据洁净室静压差的检测,测量步骤为:首先关闭洁净室的所有门,然后测量洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与室外之间的压差,并记录所有测量数据。

测量洁净室静压差后,按设计或工艺要求维持洁净室正压或负压,并与合格标准进行比较。

1、不同级别的洁净室区域与非洁净室区域之间的静压差应不小于5Pa

2、洁净室与室外的静压差,不应小于10Pa

3、空气洁净度等级高于100的单向流洁净室在开门时,门内0.6米室内工作区的粉尘浓度不应大于相应等级的粉尘浓度限值。

达不到上述标准的,应重新调整洁净室的新风量和排风量,直至合格。


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